因为波长越短,蚀刻越精确,同时电路的集成性越高。
紫光,无疑是常见光线中波长最短的光,是最佳的选择。
还有没有比紫光波长更短的光呢?
有,紫外线。
紫外线波长范围大约为5n-00n,而紫光波长在380-50n之间,紫外线明显要短得多。
那么还有没有吧里紫外线的波长更短的光呢?
有!
极紫外线!
在姜辰的引导下,极紫外线最终成了光源的最佳选择。
那极紫外线怎么获得呢?
新一轮的头脑风暴开始。
有人提出,在三万度高温下,锡会转化为离子体状态,从而发出极紫外光。
那么又要怎么讲锡加热到三万度呢?
高功率二氧化碳激光束!
激光束通过特殊的真空密封光束管,聚焦到微小的锡滴上,可将其加热至超过3万度高温。
问题又来了,高功率二氧化碳激光束怎么获得,三万度高温又需要什么器具来承载?
每一个方案的诞生,就会有无数新的问题出现。
这就是一个反推的过程。
然后将这些问题一一找到解决方案,这就是研发的过程。
当从理论上解决了技术问题,就要开始发展技术,进入实操,这就是落地的过程。
讨论非常的激烈,在数天的探讨之后,大家终于把想象得到的问题,都初步探讨出了解决方案。
新的问题有出现了。
即便通过以上方法获得了极紫外线,但并不是纯粹的极紫外线。
又要用什么方法来获得单一的极紫外线了?
新的探讨在此展开。
采用高低折射率材料交替制备的多层膜结构,来分离出极紫外线是最好的选择。
那么这个膜该用什么材料?有需要多层膜才能将其他光线全部折射出去呢?各层膜直接的角度怎么设置更加科学呢?
通过理论加计算,可以得出大致的方向。
具体的结果,就需要通过实验来验证。
陶坛完这个问题大家才发现,单单极紫外线的获取这一点的复杂程度,就远远超过了之前大家初次探讨画出来的草图。
二者,还只是光刻机中最为简单的技术。
直到此时,大家才知道要研制出这个东西来,并不是大家想象中的那么简单。
给众人打了个板之后,姜辰便让大家按照这个流程,继续对剩下的技术进行探讨和细分。
直到每一个环节都考虑到位。
当然这些技术,现在种家的工业基础和布局,根本都无法完成光刻机的制作。
不管是光源、光学系统、物镜、掩模、晶圆台,还是曝光系统和对焦系统,没有一个是能够搞定的。
这个时候,就需要通过探讨的结果来进行逐级反推。
要达成这些技术,需要哪些产业的支持。
这些产业又需要什么技术,才能达成支持所需的要求。
甚至有的探讨出来的东西,并不一定是正确的。
他还需要在真正实验室制作的过程中,继续的调整和改善。
一开始,他并没有堵光刻机的精度提出具体的要求。
不管多少精度,先制作出一台来。
大家有了经验,才能知道该从哪些方面努力,来提升光刻机的精度。
(本章完)